SG Lee : réalisation et caractérisation d'un capteur magnétique en couche mince

Ce travail concerne l'étude d'un élément Hall de performances intéressantes, et réalisé en technologie couche mince. L'analyse bibliographique nous a conduit à privilégier l'antimoniure d'indium.

L'ouvrage, après examen critique des techniques de fabrication de couches minces composéess, présente la nouvelle méthode que nous avons développée ainsi que les procédés mis en oeuvre pour optimiser les caractéristiques structurelles des couches.

Les résultats expérimentaux concernant l'analyse structurelle, les procédures de recuit et le comportement électrique en présence de champ magnétique des couches InSb sont présentés.

Les perspectives d'avenir sont évoquées en conclusion.

mots-clés : couche mince - magnétisme - effet Hall - multiévaporation.