P. Langlois : Contribution à l'élaboration de capteurs de pression à jauges de contraintes en couches minces de constantan

Le but poursuivi dans ce travail concerne l'élaboration de capteur de pression à membrane et jauges de contrainte en couches minces utilisables sur une large plage de température.

Après une présentation de l'état de l'art dans ce domaine, on décrit l'ensemble des matériels, procédures et conditions de travail développés ou déterminés au laboratoire en vue de réaliser un tel dispositif (principes sur lesquels reposent la conception et la géométrie du pont, choix du corps d'épreuve, préparation de surfaces, dépôts, microlithogravure, connectique).

Un dernier chapitre présente les principales caractéristiques des capteurs, en particulier le comportement en température sous vide et à l'air libre, mettant en évidence l'intérêt industriel d'un tel dispositif sur une plage de température s'étendant jusqu'à 370°C.

mots-clés : exstensométrie, capteur de pression, technologie couches minces, alliages Cu/Ni, microlithogravure