F. Hingand : contribution à l'automatisation d'une procédure de dépôts de diélectriques en couches minces

La technique utilisée est celle du bombardement par canon à électrons. La nécessité d'automatiser ce procédé conduit à la mise en oeuvre d'une chaîne d'acquisition et de commande, organisée autour d'un microordinateur de type IBM-PC et ayant recours aux techniques numériques.

Un premier travail d'identification porte sur les points suivants: processus de chauffage sous vide d'un corps de capteur jouant le rôle de substrat récepteur de dépôt, processus d'évaporation d'alumine (identification du processus avec diverses sorties), dont il ressort 2 options asservissement de la puissance du canon, asservissement de la vitesse d'évaporation.

Un balayage du faisceau d'électron sur la surface de l'échantillon à évaporer est mis en oeuvre et les résultats expérimentaux sont précisés.

mots-clés : dépôts, couches minces, diélectrique, capteurs, canon à électrons.