J.M. Desjonquères : Contribution au contrôle d'un système d'évaporation réactive de diélectriques en couches minces.

Ce mémoire porte sur la première phase de l'étude et de la réalisation d'un système de contrôle par microordinateur d'évaporations réactives de diélectriques en couches minces. Le contrôle porte sur la conduite des opérations de mise en vide de l'enceinte d'évaporation et sur l'asservissemet en atmosphère contrôlée de la vitesse d'évaporation et de l'épaisseur des couches minces.

Après une étude des méthodes utilisées un cahier des charges a été établi. La réalisation est relative, d'une part, à l'interface électronique entre les dispositifs d'évaporation et le microordinateur chargé du contrôle et, d'autre part, au logiciel de commande et de test du système.

Ces éléments devront permettre dans une seconde phase l'identification et l'asservissement des processus en jeu.

mots-clés : couches minces, technique du vide, diélectrique, acquisition de données, interface.